Modelling of Microfabrication Systems
Inbunden, Engelska, 2003
2 029 kr
Beställningsvara. Skickas inom 10-15 vardagar. Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249 kr.
Finns i fler format (1)
This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.
Produktinformation
- Utgivningsdatum2003-06-13
- Mått155 x 235 x 20 mm
- Vikt588 g
- FormatInbunden
- SpråkEngelska
- SerieMicrotechnology and MEMS
- Antal sidor270
- Upplaga2003
- FörlagSpringer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
- ISBN9783540002529
Tillhör följande kategorier
Hoppa över listan
Mer från samma serie
Advanced Analytical Methods in Tribology
Martin Dienwiebel, Maria-Isabel De Barros Bouchet, Maria-Isabel de Barros Bouchet
Häftad
1 569 kr
Piezo-Electric Electro-Acoustic Transducers
Valeriy Sharapov, Zhanna Sotula, Larisa Kunickaya
Inbunden
1 369 kr
Piezo-Electric Electro-Acoustic Transducers
Valeriy Sharapov, Zhanna Sotula, Larisa Kunickaya
Häftad
1 229 kr
Advanced Analytical Methods in Tribology
Martin Dienwiebel, Maria-Isabel De Barros Bouchet, Maria-Isabel de Barros Bouchet
Inbunden
2 159 kr
Hoppa över listan
Du kanske också är intresserad av
Electromechanical Systems in Microtechnology and Mechatronics
Arno Lenk, Rüdiger G. Ballas, Roland Werthschützky, Günther Pfeifer
Inbunden
2 029 kr
CMOS Hotplate Chemical Microsensors
Markus Graf, Diego Barrettino, Henry P. Baltes, Andreas Hierlemann, Markus Graf, Diego Barrettino
Inbunden
1 369 kr
CMOS Hotplate Chemical Microsensors
Markus Graf, Diego Barrettino, Henry P. Baltes, Andreas Hierlemann
Häftad
1 389 kr