Modelling of Microfabrication Systems
Inbunden, Engelska, 2003
2 099 kr
Beställningsvara. Skickas inom 7-10 vardagar
Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249 kr.Finns i fler format (1)
This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.
Produktinformation
- Utgivningsdatum2003-06-13
- Mått155 x 235 x 20 mm
- Vikt588 g
- SpråkEngelska
- SerieMicrotechnology and MEMS
- Antal sidor270
- Upplaga2003
- FörlagSpringer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
- EAN9783540002529