Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermglichen, welche sich nicht fr monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwndige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch fr grerer Stckzahlen durch bertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedchtnislegierung.