Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten

Das Ziel dieser Arbeit war die Entwicklung von Prüfverfahren, mit denen Komponenten von Versorgungssystemen hinsichtlich ihres Kontaminationsverhaltens beurteilt und enthaltene Partikelquellen ergründet werden können. Aufbauend auf dem Stand der Technik erfolgt eine theoretische Analyse der Ursachen und Mechanismen des Partikeleintrags in Flüssigkeiten von den Wandungen der Versorgungssysteme. Daraus lassen sich die möglichen Partikelquellen in Versorgungskomponenten zusammenstellen und die verfügbaren Meßtechniken für Partikel in Flüssigkeiten kritisch beurteilen. Auf der Basis dieser Analysen werden die prüfbaren Parameter ermittelt und die entsprechenden Anforderungen an die Prüfungsverfahren formuliert. Aus den gesammelten Erfahrungen bei praktischen Kontaminationsuntersuchungen wird ein Universalprüfstand für sämtliche Prüfungen konzipiert und entwickelt. Die Untersuchungen liefern eine Reihe grundlegender Ergebnisse. Es werden daraus u.a. der optimierte Einsatz der Partikelmeßgeräte, günstige und ungünstige Konstruktionsmerkmale von Ventilen, Einflüsse auf das Filterabscheideverhalten und das Gesamtverhalten von Versorgungssystemen abgeleitet. Die Eignung der entwickelten Prüfverfahren für umfassende Untersuchungen an Versorgungssystemen findet ihren Niederschlag in einer Formulierung von Richtlinien zur Durchführung derartiger Untersuchungen.