Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie.
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.
Herstellung von Siliziumscheiben.- Oxidation des dotierten Siliziums.- Lithografie.- Ätztechnik.- Dotiertechniken.- Depositionsverfahren.- Metallisierung und Kontakte.- Scheibenreinigung.- MOS-Technologien zur Schaltungsintegration.- Erweiterungen zur Höchstintegration.- Transistoren mit Nanometer-Abmessungen.- Bipolar-Technologie.- Montage integrierter Schaltungen.
Henrietta Acquah-Swanzy, Ibrahim Mwammenywa, Irene Ngoti, Lillian Donna Namujju, Godiana Philipo, Stefan Trittler, Henry Asiimwe, Joachim Böcker, Henrik Bode, Paul Bogere, Ulrich Hilleringmann, Josephine Nakato Kakande, Teddy Mangeni, James Musana, Christine Freitag, Katrin Temmen, Stefan Krauter, Tobias Klaus, Burkhard Hehenkamp
Henrietta Acquah-Swanzy, Ibrahim Mwammenywa, Irene Ngoti, Lillian Donna Namujju, Godiana Philipo, Stefan Trittler, Henry Asiimwe, Joachim Böcker, Henrik Bode, Paul Bogere, Ulrich Hilleringmann, Josephine Nakato Kakande, Teddy Mangeni, James Musana, Christine Freitag, Katrin Temmen, Stefan Krauter, Tobias Klaus, Burkhard Hehenkamp