Neuere Entwicklungen der Silizium-Mikroelektronik.- 1. Zusammenfassung.- 2. Mikron-Elektronik.- 3. Die Rolle der Siliziumstechnologie.- 4. Silizium-Chips.- 5. Silizium-Systeme.- Literatur.- Diskussionsbeiträge Professor Dr. rer. nat. Bernhard Körte; Professor Dr. rer. nat. Bernd Höfflinger; Professor Dr.-Ing. Rolf Staufenbiel; Professor Dr. rer. nat. Werner Schreyer; Dr. rer. nat. Magdala Gronau; Professor Dr. rer. nat. Eckart Kneller.
