Hoppa till sidans huvudinnehåll

Process Variations in Microsystems Manufacturing

Inbunden, Engelska, 2020

AvMichael Huff

1 999 kr

Beställningsvara. Skickas inom 10-15 vardagar. Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249 kr.


This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps.

Produktinformation

  • Utgivningsdatum2020-04-10
  • Mått155 x 235 x undefined mm
  • FormatInbunden
  • SpråkEngelska
  • SerieMicrosystems and Nanosystems
  • Antal sidor521
  • FörlagSpringer Nature Switzerland AG
  • ISBN9783030405588