Molekularkinetische Deutung der Wirkungsweise von Diffusionspumpen

Auferund von Gltigkeitskriterien wird eezeigt, da auch auf das Problem der Diffusionspumpe gasdynamische Methoden nherungs weise angewandt werden knnen. Mit den Ergebnissen der gas dynamischen Theorie kann das
Verhalten der Diffusionspumpe bei verschiedenen AnsaugdrUcken und teilweise verschlossenen Dsen verstanden werden. Unter Zugrundlegung der gasdynamischen Rechnung wird das Pro blem der tilrUckstrmung und des Saugverl'1gens
von Diffusions pumpen behandelt. Dabei wird befriedigende bereinstimmung zwischen Theorie und Experiment eefunden. 12. LITERATURVERZEICHNIS [1] S. Dushman: Scientific Foundations of Vacuum Technique, New York, 1962 l-l.
Vlutz: Theorie und Praxis der Vakuum-Technik Braunschwiig, 1965 VI. Gaede: Ann. Phys. 41, 289, 1913 u~d 46, 357, 1915 sowie Z. Techn. Phys. 4, 337, 1923 [4] J. Langrn. uir Phys. Rev. 8, 48, 191r; Gen. EI. ~ev. 10, 1060, 1916;
Electr'~an 79, 13 und 579, 1917 R. Jaeckel [ 5 J Zs. Haturforsch 2 A. 666, 1947 und: l\leinste Drucke, ihre Messung und Erzeugung Berlin, Gttingen, Heidelberg 1950 [6J M. Matricon J. Phys. Rad 2, 86, 1931 und 3, 127, 1932 [7J
Vgl. z. B. P. Frank und R. v. llises: Differentialgleichungen der Mechanik und Physik Band 11, S. 593, New York und Braunschweig, 1961 73 Vgl. z. B. D. Enskog: Phys. Z. 12, 5 und 33, 1911 [ 8 J oder R. D. Present: Kinetic
Theory of Gases, New York, 1958 [9] H. G. Nller Zs. fr angew. Physik 7, 225, 1955 [10J H. G. Nller Theory of Vacuum Diffusions Pumps in IIandbook of Vacuum Phsics, Vol. I, Part.