Mikromechanik

Die Mikromechanik, die sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung von dreidimen- sionalen mechanischen Strukturen und Systemen mit Abmessungen im Mikrometerbe- reich befasst, hat in den vergangenen Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen und steht an der Schwelle zur breiten industriellen Anwendung. Ihr Einsatz fuhrt zu Quali- tats-und Leistungssteigerungen in vielen Bereichen der modernen Technik. An Stelle der konventionellen Fertigungsverfahren der Feinwerktechnik nutzt die Mikro- mechanik den Technologievorrat der Mikroelektronik, vor allem das Konzept der hoch- gen auen Strukturubertragung mittels lithographischer Verfahren und das Konzept der kostengunstigen Fertigung in Batch-Prozessen. Die Mikromechanik kann daher als konsequente Weiterentwicklung der Mikroelektronik auf nicht-elektronische Gebiete be- trachtet werden. Die gemeinsame technologische Basis von Mikromechanik und Mikro- elektronik bietet gunstige Voraussetzungen fur die Integration mechanischer, optischer und elektronischer Funktionen zu komplexen Mikrosystemen. Die zur Zeit rasch anstei- gende Zahl von Publikationen zu diesem Thema zeigt die grosse Bedeutung, die dieser Entwicklung von Wissenschaft und Industrie beigemessen wird. Mikromechanische Bauelemente koennen durchaus in mittelstandischen Betrieben ent- wickelt und gefertigt werden. Wichtig ist jedoch, dass diese Betriebe Ingenieure als Mitarbeiter finden, die einen breiten UEberblick uber die Moeglichkeiten der Mikromecha- nik besitzen. Das vorliegende Buch moechte deshalb Studierenden, Anwendern in For- schung und Entwicklung sowie technisch interessierten Lesern eine Einfuhrung in die technologischen Grundlagen und die Anwendungen der Mikromechanik geben. Es ist aus einer Vorlesung entstanden, die ich seit 1986 an der Universitat Stuttgart fur Stu- denten der Fakultat Konstruktions-und Fertigungstechnik halte.