Dieses Buch behandelt neue Prinzipien und Methoden der Nanoprozesstechnik auf der Grundlage physikalischer/chemischer Effekte durch interdisziplinäre Forschung und zeigt Oberflächen-/Grenzflächeneffekte und Skaleneffekte bei der Verarbeitung, Formung, Modifizierung und skalenübergreifenden Herstellung im Nanomaßstab und mit nanoskaliger Präzision auf. Es handelt sich um eine Zusammenfassung eines großen Forschungsprojekts im Bereich der Ingenieur- und Materialwissenschaften in China, der "Fundamental Research of Nanomanufacturing". Es klärt den Evolutionsmechanismus der Materialstruktur, legt die genaue Charakterisierung und Messmethode des Nanoverarbeitungsprozesses fest, entwickelt einige originelle Nanoverarbeitungsprozesse und -ausrüstungen und liefert die theoretische Grundlage für die Realisierung des konsistenten Chargenprozesses der Nanoverarbeitung. Es berichtet über eine Reihe von Forschungsdurchbrüchen bei den Prinzipien und Methoden der Nano-Präzisionsfertigung, der Herstellung von Strukturen im Nanomaßstab sowie der effizienten und multiskaligen Herstellung von großflächigen Nanostrukturen.