EUV Lithography
Inbunden, Engelska, 2009
1 979 kr
Beställningsvara. Skickas inom 5-8 vardagar. Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249 kr.
EUVL is an area of intense research and this book provides the foundation required for understanding and applying this technology. It offers contributions from the world's leading EUVL researchers, and provides all the critical information needed by practitioners and those wanting to enter the field.
Produktinformation
- Utgivningsdatum2009-01-16
- Mått178 x 254 x 43 mm
- Vikt1 542 g
- FormatInbunden
- SpråkEngelska
- Antal sidor704
- FörlagJohn Wiley & Sons Inc
- ISBN9780470471555