Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXV
28 March-3 April 2011, San Jose, California, United States
Häftad, Engelska, 2011
4 299 kr
Slutsåld
Produktinformation
- Utgivningsdatum2011-01-01
- Mått152 x 229 x undefined mm
- FormatHäftad
- SpråkEngelska
- FörlagSPIE Press
- ISBN9780819485304