Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIV
Häftad, Engelska, 2010
4 849 kr
Slutsåld
Produktinformation
- Utgivningsdatum2010-12-01
- Mått152 x 229 x undefined mm
- FormatHäftad
- SpråkEngelska
- FörlagSPIE Press
- ISBN9780819480521
Tillhör följande kategorier
Hoppa över listan