Toward Inertial-Navigation-on-Chip
The Physics and Performance Scaling of Multi-Degree-of-Freedom Resonant MEMS Gyroscopes
Häftad, Engelska, 2020
Av Haoran Wen
1 899 kr
Beställningsvara. Skickas inom 10-15 vardagar
Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249 kr.Finns i fler format (1)
This thesis develops next-generation multi-degree-of-freedom gyroscopes and inertial measurement units (IMU) using micro-electromechanical-systems (MEMS) technology. It covers both a comprehensive study of the physics of resonator gyroscopes and novel micro/nano-fabrication solutions to key performance limits in MEMS resonator gyroscopes.
Produktinformation
- Utgivningsdatum2020-09-25
- Mått155 x 235 x 9 mm
- Vikt230 g
- FormatHäftad
- SpråkEngelska
- SerieSpringer Theses
- Antal sidor127
- FörlagSpringer Nature Switzerland AG
- ISBN9783030254728