1199:-

Funktionen begränsas av dina webbläsarinställningar (t.ex. privat läge).

Uppskattad leveranstid 7-12 arbetsdagar

Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249:-

420 sidor
2004

This comprehensive book provides an overview of the key techniques used in the fabrication of micron-scale structures in silicon. It is a blend of detailed experimental and theoretical material, and will be of great interest to graduate students and researchers in electrical engineering and materials science whose work involves the study of micro-electromechanical systems (MEMS).

Författare: M Elwenspoek, H V Jansen, Miko Elwenspoek, Henri V Jansen, M Elwenspoek
Format: Pocket/Paperback
ISBN: 9780521607674
Språk: Engelska
Antal sidor: 420
Utgivningsdatum: 2004-08-19
Förlag: Cambridge University Press