bokomslag Herstellung dunner metallischer Brucken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
Vetenskap & teknik

Herstellung dunner metallischer Brucken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

Dominik Stoeffler

Pocket

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  • 114 sidor
  • 2014
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rckschlsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.
  • Författare: Dominik Stoeffler
  • Format: Pocket/Paperback
  • ISBN: 9783866448438
  • Språk: Tyska
  • Antal sidor: 114
  • Utgivningsdatum: 2014-07-29
  • Förlag: Karlsruher Institut Fur Technologie