Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren 1
bokomslag Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
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Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

Walter Olbrich

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  • 126 sidor
  • 1994
  • Författare: Walter Olbrich
  • Format: Pocket/Paperback
  • ISBN: 9783540585114
  • Språk: Tyska
  • Antal sidor: 126
  • Utgivningsdatum: 1994-10-21
  • Förlag: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

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