Global LAnd Surface Satellite (GLASS) Products
Shunlin Liang, Xiaotong Zhang, Zhiqiang Xiao, Jie Cheng, Qiang Liu, Xiang Zhao
Häftad
699 kr
Del i serien Springer Theses
Research on Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Novel Diffusion Barrier Ru for Cu Interconnect
Häftad, Engelska, 2019
1 379 kr
Beställningsvara. Skickas inom 10-15 vardagar. Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249 kr.
Finns i fler format (1)
This thesis addresses selected unsolved problems in the chemical mechanical polishing process (CMP) for integrated circuits using ruthenium (Ru) as a novel barrier layer material.
Produktinformation
- Utgivningsdatum2019-01-30
- Mått155 x 235 x 9 mm
- Vikt248 g
- FormatHäftad
- SpråkEngelska
- SerieSpringer Theses
- Antal sidor137
- FörlagSpringer Verlag, Singapore
- ISBN9789811355851
Tillhör följande kategorier
Hoppa över listan
Mer från samma serie
Second-Generation High-Temperature Superconducting Coils and Their Applications for Energy Storage
Weijia Yuan
Inbunden
1 379 kr
Multiscale and Multiphysics Computational Frameworks for Nano- and Bio-Systems
Hyungjun Kim
Inbunden
1 379 kr
Atomic Scale Characterization and First-Principles Studies of Si₃N₄ Interfaces
Weronika Walkosz
Inbunden
1 379 kr
Search for Muon Neutrino to Electron Neutrino Oscillations in the MINOS Experiment
Juan Pedro Ochoa-Ricoux
Inbunden
1 379 kr
Quantum Phase Transitions in Cold Atoms and Low Temperature Solids
Kaden Richard Alan Hazzard
Inbunden
1 379 kr
Characterization of Terahertz Emission from High Resistivity Fe-doped Bulk Ga0.69In0.31As Based Photoconducting Antennas
Suranjana Sengupta
Inbunden
1 379 kr
Muonium-antimuonium Oscillations in an Extended Minimal Supersymmetric Standard Model
Boyang Liu
Inbunden
699 kr
Hoppa över listan
Du kanske också är intresserad av
Global LAnd Surface Satellite (GLASS) Products
Shunlin Liang, Xiaotong Zhang, Zhiqiang Xiao, Jie Cheng, Qiang Liu, Xiang Zhao
Häftad
699 kr
- Nyhet
- Nyhet
- Nyhet