Hoppa till sidans huvudinnehåll

Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS Sensors

Inbunden, Engelska, 2013

AvPilar Gonzalez Ruiz,Kristin De Meyer,Ann Witvrouw

1 389 kr

Beställningsvara. Skickas inom 10-15 vardagar. Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249 kr.

Finns i fler format (1)


Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 ?m Cu-backend CMOS.

Produktinformation

  • Utgivningsdatum2013-07-30
  • Mått155 x 235 x 17 mm
  • Vikt494 g
  • FormatInbunden
  • SpråkEngelska
  • SerieSpringer Series in Advanced Microelectronics
  • Antal sidor199
  • Upplaga2014
  • FörlagSpringer
  • ISBN9789400767980