Theoretische Und Experimentelle Untersuchungen Von Nichrom-Dunnschichten

Die Untersuchung von biokompatiblen Dnnschichten ist eines der verbindenden Themen in der Entwicklung von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS), nanoelektromechanischen Systemen(NEMS) und der Instrumentierung in der heutigen Zeit. In der vorliegenden Studie werden einigetheoretische und experimentelle Aspekte der Nichrom-Dnnschicht fr ihre biomedizinischen Anwendungenuntersucht worden. In dem Buch werden zwei Studien vorgestellt.Die erste Studie beschreibt das Auftreten von Knicken an Nichrom-Dnnschichten undseine Kontrolle durch die Herstellung einer nicht-planaren Topologie auf einem elastomeren Substrat.Die zweiteuntersucht die mgliche Verwendung von Nichrom-Dnnfilm in einer mikrofluidischen Vorrichtungfr die Zelltrennung.