Planare dielektrisch behinderte Entladungen

Inhaltlich unvernderte Neuauflage. Die Atmosphrendruck-Plasmaquellen sind von zunehmender Bedeutung fr eine Vielfalt industrieller Anwendungen, da diese Technologie nicht nur mit einer Kostenreduktion verbunden ist, sondern auch deshalb, da die Integration in bestehende Fertigungseinrichtungen viel einfacher im Vergleich zur Vakuumtechnologie ist.Ziel dieser Arbeit ist die Charakterisierung und Optimierung von auf Barrierenentladungen beruhenden planaren Plasmaquellen. Diese Quellen knnen modular aufgebaut werden und sind daher im Prinzip fr eine Behandlung von groflchigen planaren Oberflchen bei Atmosphrendruck geeignet. Einige Anwendungsbeispiele solcher Plasmen fr die Behandlung verschiedener Materialien (Metalloberflche, Kunststoff, Naturgewebe) werden in der vorliegenden Arbeit erlutert.Das Buch richtet sich an Diplomanden, Doktoranden und Wissenschaftler im Bereich der Plasmaphysik bzw. an Techniker und Ingenieure in Unternehmen, die im Bereich der Plasmatechnik bei Atmosphrendruck ttig sind.