Modellierung von qualitäts- und effektivitätsbestimmenden Mechanismen beim Laserabtragen

Dr.-Ing. Gert Callies

• 1. Einführung.- 2. Modellierung des strukturierenden Abtrags.- 3. Qualitätsbestimmende Mechanismen beim Strukturieren.- 4. Simulation der Materialdampfexpansion.- 5. Wechselwirkungsmechanismen im Materialdampf.- 6. Effektivitätsbestimmende Faktoren ermittelt durch ganzheitliche Betrachtungsweise.- 7. Zusammenfassung und Ausblick.- 8. Literatur.- A. Anhang.- A.1. Werkstoffeigenschaften.- A.2. Dissoziation und Ionisation.- A.3. Diskretisierung der Eulergleichungen.- A.4. Explizite Berechnung des komplexen Brechungsindexes.- A.5. Kritischer Radius, minimale Energie, Clusterdichte.