Filmes finos funcionais produzidos por tcnicas de plasma

As aplicaes tecnolgicas atuais de materiais so vastas, principalmente metais revestidos com filmes de nitretos. Nos ltimos anos, muitas investigaes tem sido realizadas com o objetivo de otimizar a aderncia destes filmes em substratos de aos visando ampliar o seu campo de aplicaes. Os filmes de nitretos compostos de ctions metlicos, especialmente de titnio, zircnio, cromo e alumnio, tm demostrado ser de grande interesse em aplicaes onde so necessrias durezas superficiais, resistncias corroso e ao cisalhamento. Entretanto, a aderncia destes filmes tem sido a principal limitao para as aplicaes tribolgicas que exigem grande esforo mecnico superficial. Neste trabalho proposto o estudo de tcnicas de diluio da interface filme/substrato por: i) difuso ou interdifuso provocadas termicamente ativadas e ii) variao gradativa da composio qumica da interface filme-substrato (filmes funcionais). Foram estudados os filmes e as interfaces formados entre os filmes de TiN e AlN e os substratos de aos AISI M2 e AISI D6.