Vliyanie metoda VTUS na fazovyy perekhod v nitride kremniya

V etoy rabote provodilos' issledovanie vliyaniya usloviy, realizuyushchikhsya pri ispol'zovanii metoda vysokotemperaturnogo udarnogo szhatiya, na stepen' prevrashcheniya v -fazu nitrida kremniya. Podrobnoe izuchenie usloviy polucheniya etoy fazy predstavlyaet interes kak perspektivnyy tekhnologicheskiy material, poskol'ku okazalos', chto po tverdosti ona znachitel'no prevoskhodit a- i ß-fazy i neskol'ko operezhaet SiO2-stishovit, kotoryy chasto pomeshchali po etomu parametru na tret'e mesto vsled za almazom i kubicheskim nitridom bora. Krome togo, ona obladaet znachitel'noy termoustoychivost'yu (stabil'na na vozdukhe do 1400 °S).