Synchrotron Nanobeam Experimente an Crn Multilayerschichten

In der vorliegenden Arbeit werden Texturgradienten an CrN-Schichten gemessen. Dafr wurden 3 Schichten CrN zu je 5 m mit einer Biasspannung von -40 V, -120V bzw. -40V durch Magnetronsputtern auf ein Stahlsubstrat abgeschieden. Die Textur wird durch direkte und indirekte Polfiguren dargestellt. Das ermglicht die Berechnung der Orientierungsverteilungsfunktion aus dem am Synchrotron gemessenen Debye-Scherrer-Ringen. Die Auswertung zeigt eine 001 Orientierung an der Grenzschicht zum Substrat. Mit weiterer Entfernung zum Substrat geht die 001 Orientierung in eine 101 Orientierung ber, bis sich in der zweiten CrN-Schicht wieder eine 001/101 Mischorientierung bildet. An der Oberflche findet sich eine 101 Orientierung. Bei den Eigenspannungen zeigen sich ber die gesamte Beschichtung Druckspannungen. Im Bereich der zweiten CrN-Schicht, die mit einer Biasspannung von -120V abgeschieden wurde, ndert sich die Eigenspannung sprunghaft. Im gleichen Bereich ndert sich die Orientierung zur oben erwhnten Mischorientierung. Untersuchungen der Kristallitform ergaben eine nderung von Kugelform zu einer Stngelform mit zunehmender Entfernung vom Substrat.