Vetenskap & teknik
Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography
F M Schellenberg
Inbunden
1879:-
Tillfälligt slut online – klicka på "Bevaka" för att få ett mejl så fort varan går att köpa igen.
Optical lithography for integrated circuits is undergoing a renaissance with the adoption of Resolution Enhancement Technology (RET). Some RET concepts have become routine in manufacturing. This volume gathers together seminal RET papers.
- Format: Inbunden
- ISBN: 9780819451668
- Språk: Engelska
- Utgivningsdatum: 2004-04-13
- Förlag: SPIE Press