Vetenskap & teknik
Pocket
Primenenie Ionno-Luchevogo Travleniya Pri Udalenii Passivatsii Mikroskhem
Abdullaev Daniil
729:-
Uppskattad leveranstid 7-11 arbetsdagar
Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249:-
V dannoy rabote privedyen analiticheskiy obzor otechestvennoy i zarubezhnoy literatury po metodu sukhogo vakuumnogo travleniya materialov, predstavlen obzor primenyaemoy metodiki issledovaniya. V rabote predstavleny rezul'taty optimizatsii protsessov reaktivno-ionnogo plazmennogo i ionno-luchevogo travleniya passivatsionnykh sloyev integral'nykh mikroskhem v ramkakh tekhnologii analiza otkazov. V organizatsionno-ekonomicheskoy chasti predstavleny raschyety stoimosti i tselesoobraznosti dannykh issledovaniy. Rezul'tatom provedyennoy raboty stala novaya metodika udaleniya passivatsionnykh sloyev integral'nykh mikroskhem v ramkakh tekhnologii analiza otkazov, otlichayushchayasya ot sushchestvuyushchikh vysokoy stepen'yu planarizatsii poverkhnosti kristalla integral'noy skhemy pri minimal'nom povrezhdenii mezhsloynogo dielektrika.
- Format: Pocket/Paperback
- ISBN: 9783659207068
- Språk: Engelska
- Antal sidor: 88
- Utgivningsdatum: 2014-02-26
- Förlag: LAP Lambert Academic Publishing