bokomslag Plasma Chemistry III
Vetenskap & teknik

Plasma Chemistry III

S Veprek M Venugopalan

Pocket

1999:-

Funktionen begränsas av dina webbläsarinställningar (t.ex. privat läge).

Uppskattad leveranstid 7-11 arbetsdagar

Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249:-

  • 132 sidor
  • 2013
Plasma chemistry of fluorocarbons as related to plasma etching and plasma polymerization.- The Mechanism and kinetics of plasma polymerization.- Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas.

  • Författare: S Veprek, M Venugopalan
  • Format: Pocket/Paperback
  • ISBN: 9783662159729
  • Språk: Engelska
  • Antal sidor: 132
  • Utgivningsdatum: 2013-10-03
  • Förlag: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K