Emkostnye Preobrazovateli Mems

Emkostnyy printsip preobrazovaniya energii pozvolyaet sozdavat' elektromekhanicheskie preobrazovateli so znachitel'noy energoemkost'yu (do 10 Dzh/kg) v oblasti malykh moshchnostey (do 1 mVt) i gabaritnykh razmerov (ot 1 mkm do 1 mm po krayney mere v odnom napravlenii). V svyazi s etim v sovremennykh mikroelektromekhanicheskikh sistemakh (MEMS) shiroko ispol'zuyutsya emkostnye preobrazovateli. K perspektivnym oblastyam primeneniya MEMS otnosyatsya: meditsinskaya mikrorobototekhnika, sistemy bezopasnosti transportnykh sredstv, sistemy orientatsii bespilotnykh letatel'nykh apparatov, seysmorazvedka i t.d. Emkostnyy preobrazovatel' MEMS predstavlyaet soboy kondensator s podvizhnoy obkladkoy. S tsel'yu povysheniya energoemkosti dlya izgotovleniya emkostnykh preobrazovateley ispol'zuyutsya razlichnye varianty konstruktsiy i primenyayutsya materialy s povyshennoy otnositel'noy dielektricheskoy pronitsaemost'yu (do 10000 i vyshe). V knige privedeny konstruktsii emkostnykh preobrazovateley, materialy dlya ikh izgotovleniya, metody modelirovaniya i issledovaniya. Kniga mozhet predstavlyat' interes dlya bakalavrov napravleniya 222900 "Nanotekhnologii i mikrosistemnaya tekhnika", aspirantov i issledovateley v oblasti MEMS.