Effektivitat der orthogonalen Abscheidung fur organische Leuchtdioden

Organische Dnnschicht-Halbleiterbauelemente wie organische Leuchtdioden (OLEDs) und organische Photovoltaik knnen auf verschiedene Weise hergestellt werden, unter anderem durch physikalische Gasphasenabscheidung (PVD). PVD ist ein Verfahren zur Abscheidung dnner Schichten mit genau kontrollierten Dicken und Materialzusammensetzungen auf ein Substrat in einem Vakuumsystem. Widerstandsbeheizte Tiegel, so genannte Boote, werden blicherweise verwendet, um Ausgangsmaterialien auf eine ausreichende Temperatur zu erhitzen, um eine Verdampfung oder Sublimation zu bewirken. Diese Tiegel haben typischerweise eine einzige ffnung, die einen konischen Dampfstrom fr die Beschichtung sowohl eines Substrats als auch eines nahegelegenen Dicken- und Geschwindigkeitssensors erzeugt. In dieser Studie wurde ein neues Bootsdesign mit einem doppelten Dampfstrom untersucht, bei dem ein Dampfstrom auf den Sensor und der andere auf das Substrat in einer orthogonalen Ausrichtung gerichtet ist. Dieses Design soll besonders ntzliche Eigenschaften fr die Herstellung von organischen Dnnschichten mit komplexer Zusammensetzung und mehreren Komponenten bieten. Auerdem soll es den Materialabfall durch Verkrzung des Abstands zwischen Quelle und Substrat reduzieren.