Conduction Par Pieges Dans Les Films Minces de Dioxyde de Silicium

Le march des mmoires non volatiles grille flottante connat un essor considrable du fait de leur utilisation croissante dans tous les domaines d'applications de la microlectronique et par consquent dans de trs nombreux secteurs industriels. Cependant, ces dispositifs mmoires se heurtent une limite technologique lie l'impossibilit de rduire l'paisseur de la couche d'oxyde tunnel isolant la grille flottante contenant l'information, sans atteindre le domaine des courants de fuite induits (Stress Induced Leakage Current). Ces fuites engendrent des pertes de charge qui diminuent drastiquement le temps de rtention et la dure de vie des cellules mmoires. travers ce livre riche en dtails techniques et scientifiques, l'auteur aborde successivement les nombreuses tapes indispensables qui doivent tre prises en compte lors du dveloppement d'outils de caractrisation adapts la mesure des courants SILC infrieurs au fA. Il explique galement, en les justifiant, chaque tape de la construction d'un modle de conduction assist par des piges situs dans l'oxyde de grille et permettant de raliser l'extraction des profils spatial et nergtique de ces dfauts.