Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik
Häftad, Tyska, 2008
999 kr
Beställningsvara. Skickas inom 3-6 vardagar. Fri frakt för medlemmar vid köp för minst 249 kr.
Produktinformation
- Utgivningsdatum2008-06-17
- Mått148 x 210 x 6 mm
- Vikt145 g
- FormatHäftad
- SpråkTyska
- Antal sidor104
- Upplaga8003
- FörlagGrin Verlag
- ISBN9783638949118